真空系統(tǒng)中真空泵所用的材料可分為結構和輔助材料。前者是構成真空系統(tǒng)的主要材料.它將真空與大氣隔開。承受大氣壓力一般是金屬和/或玻璃。后者指彈性密封材料、絕緣材料、金屬密封材料。吸附劑(用于吸水、擋油和吸氣的物理的、物理化學的和化學的吸附劑)和真空油脂材料(真空泵油、真空脂、真空泥、真空蠟、真空漆、真空密封膠)等等。

科學技術的發(fā)展，特別是計算機、微電子、生物工程、材料科學、表面科學、航天和航海工程等領域的快速發(fā)展，對真空科學的要求越來越高。例如，在納米級電子材料和元器件的開發(fā)中，不僅要求真空系統(tǒng)達到超高真空和真空氣氛清潔無油.而且要耐腐蝕、耐粉塵。為此.制造各種干式泵、耐腐蝕泵，進一步發(fā)展磁懸浮式分子泵和以陶瓷轉子取代金屬轉子來避免由于強磁場及等離子體而產(chǎn)生渦流發(fā)熱的新型渦輪分子泵等真空獲得設備，是很必要的。在真空測量方面，我國與國外也存在較大的差距，主要表現(xiàn)在真空規(guī)管的結構、電子線路的設計、集成電路和自動換擋及數(shù)字顯示等新技術的采用上，以及極高真空測量和特殊條件下的真空測量。促進我國真空測量儀器技術向多用化、自動化及體積小、外形美等方面發(fā)展，是一項艱巨任務。