任何一套真空系統(tǒng)都會(huì)存在或多或少的漏氣現(xiàn)象，這跟用戶(hù)的工藝環(huán)境是分不開(kāi)的，越是高真空的環(huán)境下，漏氣的趨勢(shì)也是最大的，這種情況下，用戶(hù)所要求的真空度達(dá)不到工藝上的要求，是個(gè)相當(dāng)普遍的問(wèn)題。對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行檢查，找出漏氣位置，確定漏孔大小，及時(shí)排除，這對(duì)真空技術(shù)人員是很重要的。
真空容器進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間抽氣后仍然達(dá)不到要求的真空度，可能有以下幾種原因:真空泵和真空機(jī)組工作不良、真空系統(tǒng)內(nèi)材料放氣、真空系統(tǒng)漏氣、漏氣和放氣并存。檢測(cè)上述問(wèn)題的最簡(jiǎn)單最常用的方法就是靜態(tài)升壓法，不需采用額外的儀器或物質(zhì)，就可以方便地檢測(cè)出被抽容器和系統(tǒng)的總漏率，可以確定問(wèn)題主要出在什么地方。靜態(tài)升壓法就是采用適當(dāng)?shù)恼婵沼?jì)，每隔一定時(shí)間測(cè)量容器的壓強(qiáng)可以得到壓力-時(shí)間曲線(xiàn)。
實(shí)際真空肯定是會(huì)存在漏氣的，但是真空室漏入氣體總量要是不影響系統(tǒng)的正常工作的話(huà)，這種漏氣是可以忽略的。真空系統(tǒng)在正常工作的情況下所允許存在的最大漏氣率成為最大允許漏率。真空冶金過(guò)程中，真空泵要持續(xù)抽氣用以維持系統(tǒng)的真空度，這種系統(tǒng)只要求其平衡時(shí)壓力能夠達(dá)到所要求的真空度，存在的漏率也是允許的。
