真空系統(tǒng)啟動時，要先用機(jī)械泵將系統(tǒng)抽至低真空，再接通擴(kuò)散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正�；亓骱笤賳佑蛿U(kuò)散泵。關(guān)閉油擴(kuò)散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰后再關(guān)冷凝水，再關(guān)閉擴(kuò)散泵前后兩個活塞，接著將機(jī)械泵的抽氣日通大氣后才能停機(jī)械泵.通常在機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵之前安一冷阱，以免有機(jī)物、水汽等雜質(zhì)進(jìn)入機(jī)械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。
對玻璃真空系統(tǒng)的檢漏，使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強(qiáng)氣體在高頻電場中，發(fā)生感應(yīng)放電時所產(chǎn)生的不同顏色，來大致估計真空度量級，以判斷系統(tǒng)是否漏氣。實際檢漏過程如下，啟動機(jī)械泵數(shù)分鐘后，系統(tǒng)的真空度可達(dá)1.333~13.33Pa。
