在決定裝置一個真空系統(tǒng)時，首先要確定下面3個問題：

(1)被抽容器的體積，

(2)應(yīng)該達(dá)到的真空度;

(3)抽除的是哪一種氣體(或蒸汽)。

有了這些基本要求，加上必須的管道，就可以決定要哪一種規(guī)格(通常以極限真空和抽氣速率兩項為主)的真空泵。例如如果要得到的只是10-3乇以下的真空度，則不妨單要一個機械泵，當(dāng)然，如果所抽的是蒸汽，就要一個氣鎮(zhèn)泵;如果還需要很大的抽氣速率，則最好還要配用一個增壓真空泵。在10-3乇以上高真空工作中，就要使用擴散泵。至于電子泵,離子泵等，因為抽速較低，大多不合工業(yè)上的要求。

油擴散泵好還是汞擴散泵好，硯在似乎已經(jīng)有了定論:如果被抽除的氣體不致和油類起作用，那么，大多數(shù)選用油擴散泵，特別是工業(yè)上用的巨型擴散泵，現(xiàn)在已經(jīng)沒有用汞作為蒸汽源的了，達(dá)樣一方面可以避免因汞蒸汽存在而產(chǎn)生勞動防護(hù)方面的問題，另一方而可以減低泵的重量，因為大擴散泵往往要用數(shù)升的液體作為蒸汽源。但汞擴散泵也有一些好處:操作簡單、無需象擴散泵一樣細(xì)心照料、價格低廉、而且暴露大氣后也不會損壞(大多數(shù)擴散泵油在被熱時暴露在大氣中都會損壞)、在使用冷凝阱后就不會象油蒸汽一樣沾污真空系統(tǒng)，所以在實驗室內(nèi)很多人還是樂于應(yīng)用。